Small 中科院上海微系统与信息技术研究所
    发布时间: 2025-01-11 10:05    

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制备了不同间距的铝金属线条阵列,通过铝金属下表面氧化形成氧化铝,实现短沟道自对准的二维材料晶体管。

https://doi.org/10.1002/smll.202403187